1. 系統(tǒng)
貨號 |
型號 |
主機規(guī)格 |
|
X1軸測量范圍 |
Z1軸測量范圍 |
||
218-633DC |
CV-2100M4 |
100 mm |
50 mm |
1-1. 系統(tǒng)圖
2. 主機規(guī)格
測量范圍 |
X1軸 |
100 mm |
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Z1軸 |
50 mm |
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垂直移動 |
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350 mm 快速上下動和微動 |
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X1軸傾角范圍 |
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±45° 手動 |
類型 |
X1軸 |
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STVC-10Z |
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Z1軸 |
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RT檢出器 |
分辨力 |
X1軸 |
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0.1 μm |
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Z1軸 |
|
0.1 μm |
驅(qū)動方式 |
X1軸 |
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自動(0~20 mm/s) |
垂直移動 |
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手動(快速上下移動,微動進給) |
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測量速度 |
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0.02~5 mm/s |
直線度(以X1軸為水平方向上) |
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2.5μm/100 mm |
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指示精度 |
X1軸 |
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±(2.5+0.02L)μmL為驅(qū)動長度(mm) |
(20℃) |
Z1軸 |
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±(2.5+|0.1H|)μm H:基于水平位置的測量高度(mm) |
測針上/下運作 |
弧形移動 |
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測量方向 |
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向前/向后 |
測針方向 |
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向下 |
測力 |
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30±10 mN |
跟蹤角度 |
向上 |
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77°(依表面粗糙度而定) |
|
向下 |
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87°(依表面粗糙度而定) *使用配置的標準測針 |
測針針尖 |
尖端半徑 |
|
25μm |
(標準測針) |
材料 |
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硬質(zhì)合金 |
基座尺寸 |
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600×450 mm |
基座材料 |
|
|
花崗巖 |
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主機 |
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651×143×138.5 mm |
|
立柱部 |
885×745×450 mm |
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重量 |
主機 |
|
5.8 kg |
|
立柱部 |
140 kg |
|
使用溫度范圍 |
|
|
0~40 ℃ |
使用濕度范圍 |
|
|
20~80 %RT 但是不能結(jié)露 |
保存溫度范圍 |
|
|
-10~50 ℃ |
保存濕度范圍 |
|
|
5~90 %RT 但是不能結(jié)露 |
電源 |
|
|
AC 100~120V、200~240 V±10%、AC50/60 Hz |
消耗功率 |
|
|
30 W |
3. 附件
3-1. 主機標準附屬品
貨號 |
品名 |
備注 |
數(shù)量 |
354884 |
單切片測針 SPH-71 |
|
1 |
935113 |
直式測臂 AB-71 |
|
1 |
12BAM435 |
輔助重量A |
|
1 |
12BAM415 |
輔助重量B |
|
1 |
12BAM427 |
輔助重量C |
|
1 |
546-113 |
張力計 |
|
1 |
538613 |
六角扳手 公稱值1.5 |
|
1 |
538616 |
六角扳手 公稱值3 |
|
1 |
538618 |
六角扳手 公稱值5 |
|
1 |
357651 |
AC適配器 |
|
1 |
02ZAA040 |
AC Cord-CCC |
|
1 |
12BAF812 |
鏈接電纜(USB) |
|
1 |
537976 |
吊掛螺栓 |
|
4 |
535002 |
蓋子 |
|
4 |
611671-041 |
量塊 10 mm 等級2 |
|
1 |
611675-041 |
量塊 50 mm 等級2 |
|
1 |
99MBB499A |
用戶手冊(硬件指南、英語) |
|
1 |
- |
保證書(大) |
|
1 |
3-2. 數(shù)據(jù)處理部
貨號 |
品名 |
備注 |
數(shù)量 |
—— |
FORMTRACEPAK |
|
1 |
SH-PA-99999 |
電腦 |
|
1 |
SH-PA-99999 |
打印機 |
|
1 |
3-3. 選件
貨號 |
品名 |
備注 |
數(shù)量 |
998862 |
Pin gauge |
測針補正 |
1 |
211-016 |
基準半球 |
校正對稱性 |
1 |